硅烷是硅和氫的化合物，是一系列化合物的總稱(chēng)，包括硅烷(SiH4)和乙硅烷(
Si2H6)和一些更高級(jí)的硅氫化合物。目前，使用最廣泛的硅烷是甲硅烷，一般稱(chēng)為甲硅烷
制造硅烷。
硅烷作為提供硅成分的氣體源，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅和非晶硅
硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。由于它的高純度和精細(xì)控制，它已經(jīng)
它已經(jīng)成為一種重要的特殊氣體，是許多其他硅源所不能替代的。硅烷已成為半導(dǎo)體微電子技術(shù)中應(yīng)用最廣泛的一種
主要特種氣體用于制備各種微電子薄膜，包括單晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅和氮化
硅、金屬硅化物等。硅烷的微電子應(yīng)用仍在深入發(fā)展:低溫外延、選擇性外延和異質(zhì)外延
延遲。不僅用于硅器件和硅集成電路，也用于化合物半導(dǎo)體器件(砷化鎵、碳化硅等。).在
也可用于超晶格量子阱材料的制備?？梢哉f(shuō)，幾乎所有現(xiàn)代先進(jìn)集成電路生產(chǎn)線都需要
使用硅烷。硅烷的純度與器件性能和產(chǎn)量有很大關(guān)系，高等級(jí)的器件需要更高純度的硅
烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。
烷烴(包括乙硅烷和丙基硅烷)。
中國(guó)電子和大規(guī)模集成電路行業(yè)去年進(jìn)口芯片總額為2300億美元。其中，有一點(diǎn)很重要
原因是缺少高純結(jié)晶硅，必須以高純硅烷為基礎(chǔ)。高純度硅烷
它是一種對(duì)國(guó)家發(fā)展至關(guān)重要、具有戰(zhàn)略意義的新材料。
2010年，中國(guó)開(kāi)發(fā)了硅烷多晶硅技術(shù)，該項(xiàng)目投入生產(chǎn)，標(biāo)志著擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成就
這套工業(yè)化硅烷生產(chǎn)技術(shù)率先在中國(guó)取得突破，結(jié)束了國(guó)外技術(shù)的壟斷和對(duì)國(guó)內(nèi)產(chǎn)品的依賴(lài)
進(jìn)口歷史。本項(xiàng)目采用硅烷法實(shí)現(xiàn)硅烷的工業(yè)化生產(chǎn)，生產(chǎn)過(guò)程中所有原料均可轉(zhuǎn)化。
無(wú)廢物排放，打破了日本鎂硅法、美國(guó)氯硅烷法等傳統(tǒng)硅烷技術(shù)大規(guī)模生產(chǎn)的難度和成本
高，廢物排放等瓶頸。除了“硅烷法”，還有“西門(mén)子法”和“冶金法”
兩種多晶硅生產(chǎn)方法，尤其是前者，經(jīng)過(guò)改進(jìn)后成為主要的多晶硅生產(chǎn)方法。
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