多晶硅廠的長期困擾始終是還原爐掉棒。長期掉桿現(xiàn)象會對生產(chǎn)設(shè)備造成損壞，甚至可能造成事故和人身傷害。通過對多晶硅生產(chǎn)中還原爐掉棒現(xiàn)象的總結(jié)和分析，提出了掉棒的主要原因和預(yù)防措施。
改良西門子法工藝成熟，安全性高，適合工業(yè)化生產(chǎn)，是多晶硅生產(chǎn)的首選。在此過程中，高純?nèi)葰涔韬蜌錃庠诟邷毓栊颈砻娣磻?yīng)生成多晶硅。硅芯沉積生長過程中，由于多種原因，爐內(nèi)硅棒重心偏移或操作不當(dāng)導(dǎo)致爐內(nèi)多晶硅棒坍塌斷裂。還原爐內(nèi)掉棒會對設(shè)備造成嚴(yán)重?fù)p壞，也會增加設(shè)備對多晶硅產(chǎn)品的污染。
4.提高過程控制的操作水平
在生長的前、中、后期，每個還原爐的www.okcis.cn/hyk-k280358.html應(yīng)根據(jù)相應(yīng)的曲線進(jìn)行加料和升降，以保證硅棒不同時期的表面溫度，使沉積反應(yīng)能在硅棒表面有效進(jìn)行。在加料過程中，閥門應(yīng)緩慢移動，以免爐內(nèi)壓力波動大，使硅芯晃動。
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