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1.根據(jù)潔凈室結(jié)構(gòu)
1)隨機(jī)流動(dòng)
空空氣通過(guò)空風(fēng)道和潔凈室的空空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室,并從潔凈室兩側(cè)的隔墻條板或高架地板返回。氣流以非線性方式運(yùn)動(dòng),并處于不規(guī)則的湍流或渦流狀態(tài)。這種形式適合10 ~ 10萬(wàn)的潔凈室。
定義:氣流不平行、速度不均勻、有回流或渦流的潔凈室。
特點(diǎn):湍流潔凈室是通過(guò)多次換氣達(dá)到潔凈度和潔凈度水平??諝庾兓拇螖?shù)決定了定義中的凈化級(jí)別
自凈時(shí)間:指潔凈室按照設(shè)計(jì)換氣次數(shù)開始向潔凈室供氣,室內(nèi)粉塵濃度達(dá)到設(shè)計(jì)凈化水平的時(shí)間。1000級(jí)希望不超過(guò)20分鐘;10000級(jí)預(yù)計(jì)不超過(guò)30分鐘;10萬(wàn)級(jí)預(yù)計(jì)不超過(guò)40分鐘。
換氣次數(shù):1000級(jí)43.5~55.3次/小時(shí);10000級(jí)23.8~28.6次/h;100000級(jí),14.4~19.2次/h。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,系統(tǒng)建設(shè)成本低,潔凈室易于擴(kuò)建。在一些特殊場(chǎng)合,可以使用無(wú)塵工作臺(tái)來(lái)提高潔凈室的水平。
缺點(diǎn):湍流產(chǎn)生的塵粒漂浮在室內(nèi)空,難以排出,容易污染工藝產(chǎn)品。此外,如果系統(tǒng)停止運(yùn)行并重新啟動(dòng),通常需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到所需的清潔度。
2)層流
層流空氣流是均勻線性的。空氣體通過(guò)過(guò)濾器進(jìn)入房間,并從高架地板或兩側(cè)隔板返回空氣。這種形式適合潔凈室等級(jí)高的環(huán)境,其潔凈室等級(jí)一般為1~100。
它可以分為兩種形式
水平層流
水平空空氣從過(guò)濾器向一個(gè)方向吹出,并通過(guò)相對(duì)側(cè)壁上的回風(fēng)系統(tǒng)返回。粉塵隨風(fēng)向室外排放,下游側(cè)污染普遍嚴(yán)重。
優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,術(shù)后短時(shí)間內(nèi)穩(wěn)定。
缺點(diǎn):建設(shè)成本高于隨機(jī)流,室內(nèi)空房間不易擴(kuò)建。
垂直層流
房間的天花板完全覆蓋了ULPA過(guò)濾器,空空氣從上到下吹,可以獲得很高的潔凈度,工人在制造過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵可以快速排放到外面,而不會(huì)影響其他工作區(qū)域。
優(yōu)點(diǎn):易于管理,運(yùn)行后短時(shí)間內(nèi)狀態(tài)穩(wěn)定,不易受運(yùn)行狀態(tài)或運(yùn)行人員的影響。
缺點(diǎn):造價(jià)高,難以靈活使用空,吊頂?shù)跫苷加孟喈?dāng)空,過(guò)濾器維修更換麻煩。
3)復(fù)合型
復(fù)合型是湍流和層流的結(jié)合,可以提供局部超凈空氣體。
清潔隧道
使用HEPA或ULPA過(guò)濾器100%覆蓋工藝區(qū)或工作區(qū),清洗水平可提高到10級(jí)以上,可節(jié)省安裝和運(yùn)行成本。
在這種形式下,操作員的工作區(qū)域需要與產(chǎn)品和機(jī)器維護(hù)隔離開來(lái),以避免在機(jī)器維護(hù)期間影響工作和產(chǎn)品質(zhì)量。ULSL工藝大多采用這種形式。
優(yōu)點(diǎn):靈活擴(kuò)展容易;設(shè)備維護(hù)可以在維護(hù)區(qū)輕松進(jìn)行
清潔管道
圍繞凈化產(chǎn)品流過(guò)的自動(dòng)化生產(chǎn)線,將潔凈度提高到100以上。
由于產(chǎn)品、操作瑞安和多塵環(huán)境相互隔離,少量送風(fēng)即可獲得良好的潔凈度,可節(jié)約能源,無(wú)人力的自動(dòng)化生產(chǎn)線最適合使用。適用于藥瓶、食品工業(yè)和半導(dǎo)體工業(yè)。
安裝局部潔凈室
潔凈室等級(jí)為10000~100000的紊流潔凈室產(chǎn)品工藝區(qū)潔凈度等級(jí)提高到10~1000以上進(jìn)行生產(chǎn);潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈空氣柜都屬于這一類。
潔凈工作臺(tái):1~100級(jí)。
潔凈工作棚:在紊流潔凈室空,小空房間可以用透明塑料布圍起來(lái)防靜電。獨(dú)立的HEPA或ULPA和空空調(diào)機(jī)組組成一個(gè)高檔的潔凈空房間,等級(jí)為10-1000
2.根據(jù)潔凈室的用途
1)工業(yè)潔凈室
以無(wú)生命粒子為控制對(duì)象。主要控制空空氣和灰塵顆粒對(duì)故障物體的污染,一般保持內(nèi)部正壓。適用于精密機(jī)械行業(yè)、電子行業(yè)等行業(yè)。),航天工業(yè),高純化工,原子能工業(yè),光磁產(chǎn)品工業(yè),LCD,計(jì)算機(jī)硬盤,計(jì)算機(jī)磁頭生產(chǎn)等。
2)生物潔凈室
主要控制活粒子和無(wú)生命粒子對(duì)工作對(duì)象的污染。
普通生物潔凈室
主要控制微生物對(duì)工作對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料應(yīng)能承受各種消毒劑的侵蝕,內(nèi)壓一般是有保證的。本質(zhì)上,它是一個(gè)工業(yè)潔凈室,其內(nèi)部材料應(yīng)能承受各種滅菌處理,如制藥工業(yè)、醫(yī)院食品、化妝品和飲料產(chǎn)品的生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。
生物安全潔凈室
主要控制活粒子對(duì)工作對(duì)象的污染。潔凈室應(yīng)與大氣保持負(fù)壓,用于細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物理工程等鄰里。
3.潔凈室等級(jí)
ISO/DIS 14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮顆粒的空濃度分類,ISO分類大于或等于下表所列顆粒的最大允許濃度:
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